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深國(guó)安氯氣檢測(cè)儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

更新時(shí)間:2025-05-27      點(diǎn)擊次數(shù):313

半導(dǎo)體制造涉及清洗、蝕刻、光刻等多道工藝,其中含氯化學(xué)品(如三氯化硼、四氯化硅)的使用廣泛。這些工藝過程中,若氯氣(Cl?)未反應(yīng)或發(fā)生泄漏,將直接危害人員健康與設(shè)備安全。根據(jù)《GBZ 2.1-2019 工作場(chǎng)所有害因素職業(yè)接觸限值》,氯氣的8小時(shí)加權(quán)平均容許濃度(TWA)僅為0.5ppm,短時(shí)間接觸容許濃度(STEL)為1ppm;當(dāng)濃度超過10ppm時(shí),30分鐘暴露即可致命[2]。此外,氯氣若未有效處理直接排放,還會(huì)腐蝕設(shè)備、污染大氣,違反環(huán)保法規(guī)。因此,對(duì)氯氣的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與精準(zhǔn)管控,是半導(dǎo)體企業(yè)安全生產(chǎn)與環(huán)保達(dá)標(biāo)的核心需求。

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針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)高濕、微腐蝕、需24小時(shí)連續(xù)監(jiān)測(cè)的復(fù)雜環(huán)境,深國(guó)安電子推出了SGA-500系列、SGA-501系列等多款氯氣檢測(cè)儀,從硬件到功能均進(jìn)行了專項(xiàng)優(yōu)化[?]:



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